羅茨真空泵簡稱羅茨泵，是一種無內(nèi)壓縮的旋轉(zhuǎn)變?nèi)菔秸婵毡茫怯?a href="http://rbtrc.com" target="_blank" title="羅茨鼓風(fēng)機(jī)" style="color: rgb(255, 0, 0); text-decoration: underline;">羅茨鼓風(fēng)機(jī)演變而來的。工業(yè)中常用的中羅茨真空泵有羅茨泵和油增壓真空泵。羅茨真空泵具有高效節(jié)能、低噪音、無泄漏、運(yùn)行平穩(wěn)等特點。

羅茨真空泵的分類如下：

　　1.羅茨泵(又稱真空泵)

羅茨泵由于工作壓力范圍不同，可分為直排大氣的干式真宅泵和濕式羅茨泵，還有真空羅茨泵(機(jī)械增壓泵)和高真空多級羅茨泵等。近年來，羅茨泵應(yīng)用非常廣泛。     

羅茨泵是一種雙轉(zhuǎn)子的容積式真空泵，在泵腔內(nèi)有兩個形狀對稱的轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)做同步相對旋轉(zhuǎn)，形成泵腔內(nèi)容積的周期重復(fù)變化以達(dá)到吸氣和排氣的目的。轉(zhuǎn)子形狀有兩葉、三葉和四葉的。兩個轉(zhuǎn)子彼此朝相反方向旋轉(zhuǎn)，由軸端齒輪驅(qū)動同步轉(zhuǎn)動。轉(zhuǎn)子之間彼此無接觸，轉(zhuǎn)子與泵腔壁之問也無接觸，其問通常有0．15～1．0mm的間隙，泵腔靠間隙來密封。由于羅茨泵泵腔內(nèi)無摩擦，轉(zhuǎn)子町高速運(yùn)轉(zhuǎn)，一般為1500～3000r/min，無需用潤滑油，可實現(xiàn)較清潔的抽氣過程。泵的潤滑部位僅限于軸承和齒輪，以及動密封處。

圖1 羅茨真空泵

　　羅茨泵有重量輕、體積小、低噪音、效率高、運(yùn)行快，可抽除含有一定量的灰塵或冷凝物的氣體等優(yōu)點，廣泛用于冶金、石油、化工、電子、紡織等工業(yè)中。羅茨泵在100～1Pa真空下有較大抽速，彌補(bǔ)了機(jī)械泵和蒸氣流泵在該壓力范圍內(nèi)抽速小的特點，所以又稱為機(jī)械增壓泵。羅茨泵在真空工程領(lǐng)域中應(yīng)用時，一般與前級泵串聯(lián)構(gòu)成機(jī)組，在中真空范圍，作為機(jī)械增壓泵來應(yīng)用；雙級或多級羅茨泵機(jī)組可獲得高真空；對于干式清潔無油的抽氣系統(tǒng)多用氣冷式羅茨泵機(jī)組；對于含水蒸氣的被抽系統(tǒng)，多用濕式羅茨泵。

　　2.油增壓真空泵

工作壓力范圍在10～10-2Pa壓力區(qū)間內(nèi)，油擴(kuò)散噴射泵有較大的抽速和較高的最大出口壓力，其抽氣量是擴(kuò)散泵的4～20倍，加熱功率是擴(kuò)散泵的2～5倍。油擴(kuò)散噴射泵在1～0．1Pa下有較大的抽速，由于油擴(kuò)散噴射泵的工作壓力范圍正處于油擴(kuò)散泵和油封機(jī)械泵抽氣能力下降區(qū)域，可彌補(bǔ)真空泵和高真空泵在該壓力范圍抽速較小的缺點，因此，該泵除可以做主泵外，還常常用于大型油擴(kuò)散泵和前級機(jī)械泵之間，保證真空系統(tǒng)的有效工作。

油擴(kuò)散噴射泵對惰性氣體與其他氣體有相同的抽速，并有結(jié)構(gòu)簡單、無機(jī)械轉(zhuǎn)動部分，便于操作、維護(hù)，壽命長等特點。油擴(kuò)散噴射泵廣泛應(yīng)用于真空感應(yīng)熔煉、真空電弧熔煉、真空十燥、真空壓力浸漬、真空蒸餾等設(shè)備上。

圖2 羅茨泵機(jī)頭

羅茨真空泵綜合了羅茨鼓風(fēng)機(jī)的優(yōu)點，加以改進(jìn)后，在工業(yè)中有著不容小覷的地位。未來的工業(yè)中，羅茨真空泵仍會保持著積極發(fā)展的作用。

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